層流罩在潔淨室的應用
層流罩在潔淨室的應用
潔淨廠房尊龙凯时 - 人生就是搏!設計中層流罩具有實現1級 、10級 、100級 、1000級等不同級別的潔淨室的淨化單元設備 。
層流罩進行性能測試和工程設計經驗 ，總結了層流罩的應用與選擇上的注意事項 。早在二十世紀六十年代 ，第一個層流室的建立就已經開始出現層流罩的應用了 。但直到1984年 ，在亞洲才出現大規模應用層流罩的事例（大約有5000台） 。是什麼原因導致層流罩在這麼長的時間沒有得到廣泛的發展呢？有三個問題佔主導地位 。
第一 ：噪聲問題 。各位可以想一想 ，在當時的生產工藝水平下 ，5000颱風機在一起的噪聲會是多大呢？
第二 ：壓力平衡 。在很大的靜壓箱裏 ，每一個不同角落的風機是否能得到均衡的壓力 ，這在當時也是不能夠得到保證的 。
第三 ：維護問題 。層流罩本身造價就比較高 ，如果它的電機壽命不能保證的話 ，更換又會帶來附加投資 。這些都是造成當時的企業不選擇使用層流罩的主要原因 。
但是這一切 ，在1984年都發生了改變 。首先是噪聲問題得到了控制 ，大規模的層流罩潔淨廠房都可以把噪聲控制在65DBA以下 ，這符合工業廠房的標準 。其次隨着自動控制的發展 ，監測和調節各個角落的靜壓也變得容易起來 。最後電機的壽命隨着技術的提高也得到了質的飛躍 。
現在 ，隨着半導體電子技術的發展 ，越來越密集的集成電路也要求着越來越高的潔淨等級 。
第一 、靈活性 。因為層流罩是自帶動力的 ，它不受區域的限制 。在一個偌大的潔淨廠房裏 ，可根據需要 ，分區控制 。而且 ，隨着半導體生產工藝的變化 ，廠房佈局必然要作相應調整 ，層流罩的靈活性使得這樣的調整變得輕鬆 ，而且不會帶來二次投資 。
第二 、可再利用性 。從理論上講 ，一時不用的層流罩設備 ，可以拆下來 ，密封好 ，妥善保管 ，留待下次使用 。
第三 、負壓通風 。這是層流罩的獨特特點 。由於它本身能夠提供靜壓 ，使得送風靜壓箱相對於潔靜廠房負壓 。這樣 ，靜壓箱內的顆粒就不會受到壓力的作用泄漏到潔淨區里 ，使得密封變得很簡單而且安全 。
第四 、縮短建設周期 。使用層流罩省掉了風管的製作和安裝 ，因為風管在潔淨工程中 ，佔掉很大的建設周期 ，任何一個投資者都希望投資能儘快帶來收益 ，選用層流罩成為了一種可能 。
第五 、減少運行成本 。雖然在選用層流罩時 ，初期投資要比使用風管通風高 ，但它在後期運行中 ，突出的表現出節能 、免維護等特點 。用大循環減少40%的運行成本 。
層流罩及其性能 ：
層流罩是FAN FILTER UNIT的縮寫 ，中文稱作「風機過濾器單元」也就是將風機和過濾器(高效過濾器(HEPA)或超高效過濾器(ULPA))組合在一起構成自身能提供動力的末端淨化設備 。過去在潔淨工程中常用的帶風機的高效過濾器的高效送風口 ，自淨器 ，層流罩等都是層流罩的一種 。
不過 ，現在所說的層流罩是具有標準模數尺寸 ，能按模數組合起來實現1級 、10級 、100級 、1000級等不同級別的潔淨室的淨化單元設備 。
目前 ，國內 、外常用的模數有1200X6mm(4英尺X2英尺) 、1200X900mm(4英尺X 3英尺) 、1200X 1200mm(4英尺X4英尺) 、其厚度多在300-400mlTl 。
層流罩一般由以下四部分組成 ：風機 、過濾器 、機殼 、電器控制元件 。
層流罩的應用:適應性 、經濟性 、風量和余壓 、噪聲 、控制 、維護管理 、層流罩的選擇 、試驗方法和試驗裝置 。
結果分析
（1）FU機組內的高效過濾器的初阻力均不相同 ，大約在120—150Pa之間 。
（2）當高效過濾器為初阻力 ，且保證層流罩送風斷面風速為0.35m/s時 ，不同層流罩的機外余壓均在100Pa左右 ，有的高達130Pa 。
當層流罩送風斷面風速為0.45m/s時 ，各機組的機外余壓 ，都能在60Pa以上 。
當層流罩送風斷面風速為0.45m/s時 ，被測的層流罩的機外余壓都是足以克服循環通道上的阻力 。
（3）層流罩的聲壓級噪聲大多在57dB(A)～59dB(A)之間 。比較好的其噪聲在54dB(A) 。
（4）各不同牌子的層流罩的能耗大多在160～180W ，只有個別牌的能耗大 ，高達350W是一般能耗的一倍 。
實現潔淨室潔淨度要求的通風措施 ：
潔淨室要達到潔淨等級 ，必須有綜合措施 ，其中包括工藝佈置 、建築平面 、建築構造 、建築裝修 、人員和物料淨化 、空氣潔淨措施 、維護管理等 。其中空氣潔淨措施是實現潔淨等級的根本保證 。就空氣潔淨而言 ，主要有以下幾項具體措施 ：
1 、對潔淨室的送風必須是有很高潔淨度的空氣 。因此 ，必須選用高效或亞高效過濾器（潔淨級別低時）作為終端過濾器 ，對進入潔淨室的空氣 ，進行以後一級過濾 。為保護終端過濾器和延長其壽命 ，必須使空氣先經中效過濾器進行過濾 。
2 、根據潔淨室的等級 ，合理選擇潔淨室的氣流分佈流型 ，在工作區應避免渦流區；儘量使送入房間的潔淨度高的空氣直接到達工作區；氣流的流動有利於潔淨室內的微粒從迴風口排走 。
3 、有足夠的風量 ，既為了稀釋空氣的含塵濃度 ，又保證有穩定的氣流流型 。
4 、層流罩是一種內配風機的吊頂用機組 ，用於亂流及層流潔淨室內 ，具有可模塊化連接使用的特點 ，出風面平均風速達到0.45m/s±20％ 。
5 、不同等級的潔淨室 、潔淨室與非潔淨室或潔淨室與室外之間均應保持一定的正壓值 。
